Authors
Toury Timothée, Lerondel Gilles, Ibrahim Joyce, Rumyantseva Anna,
Title
Procédé de lithographie interférentielle
Issue
FR1756863
Year
2017
Indexed by
Abstract
L'invention concerne généralement le domaine de la structuration de substrats par lithographie interférentielle, dite aussi lithographie holographique. De manière plus particulière, l'invention vise l'utilisation de la lithographie interférentielle pour la fabrication de méso- ou nanostrutctures métalliques sur des substrats, notamment en vue de la réalisation de capteurs pour la plasmonique.
Affiliations
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